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1,滑动平台电机采用矩形音圈电机作为驱动,平台本体材质为铝7075精密加工;
2,平台导轨采用日本NB微米级精度的交叉滚珠导轨;
3,平台编码器采用MICROE的3000系列的,根据配置此编码器的分辨率为0.1um的;
在此基础配合合适的驱动器,重复定位精度可达到为±0.3um.

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