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客户要求:
1,该方案采用高速、高精度、高动态特性的笛卡尔龙门坐标轴设计;
2,分辨率:1Vpp Sin/Cos (典型推荐分辨率5nm);
3,双向重复定位精度:±0.75μm(Base)±0.4μm(Plus);
4,定位精度(线性误差修正):±3μm(Base)±1μm(Plus);
5,正交误差:10arc sec;
6,最大工作速度:2000mm/s;

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同茂音圈电机半导体制作应用

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状元彩票app用音圈电机制造更精确的半导体元件,我们经常都需要对制造出来的半导体元件进行检测,而新换的检测设备是用音圈电机的,移动起来十分平滑,能够达到微米级别,使得元件检测更简单。

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