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客户要求:
1,双向重复定位精度:3μm;
2,直线度:10μm;
3,平面度:15μm;
4,偏航角误差:10arc sec;
5,1.0um位置精度(稳态误差),1mm点定位时<100ms;

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半导体制程-分选包装

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客户要求:
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2,2mm行程10ms;
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